集成電路是當今信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展的基礎(chǔ)和源動力，其技術(shù)水平和發(fā)展規(guī)模已成為衡量一個國家產(chǎn)業(yè)競爭力和綜合國力的重要標志之一。近年來一系列的政策出臺鼓勵國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，半導(dǎo)體“大基金”為國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展提供直接支持，將能有力提高集成電路領(lǐng)域的投資能力，從而釋放相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域的需求。潔凈室工程是集成電路制造環(huán)節(jié)中重要的一環(huán)，直接決定了較終產(chǎn)品的成敗。

集成電路的基礎(chǔ)制造材料是硅片，硅片經(jīng)過各種表面處理后，與光刻板一起經(jīng)過包括光刻、熱處理、介質(zhì)沉積、化學(xué)機械研磨等工藝較終形成集成電路芯片。如果生產(chǎn)過程中潔凈程度達不到要求，產(chǎn)品良品率會受到很大影響，較終產(chǎn)品就會失敗。隨著技術(shù)的進步，集成電路對潔凈度的要求越來越高。一般而言，當微粒尺寸達到集成電路節(jié)點一半大小時就成為了破壞性微粒，對集成電路的制造產(chǎn)生影響。比如，14 納米工藝中 7 納米的微粒就會影響制造過程。隨著集成電路的工藝越來越高，目前5納米的工藝已經(jīng)開始研發(fā)，集成電路制造過程需要的潔凈程度越來越高，對于潔凈室工程的技術(shù)提出越來越高的要求。

集成電路幾乎所有環(huán)節(jié)都需要潔凈室內(nèi)完成，且集成電路生產(chǎn)對潔凈度 要求很高。和其他產(chǎn)業(yè)不同，集成電路產(chǎn)業(yè)鏈幾乎所有的主要環(huán)節(jié)都需要在潔凈環(huán)境中進行，從單晶硅片制造，到 IC 制造的幾乎所有環(huán)節(jié)，到 IC 封裝的重要步驟都需要在潔凈室中完成，且對于潔凈度的要求非常高。潔凈室又被稱為無塵室或清凈室，是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。

即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室講的通俗點就是利用一定的科學(xué)技術(shù)手段，控制一定空間范圍內(nèi)的空氣懸浮的顆粒濃度，而達到一定的濃度級別對應(yīng)的就是一種潔凈室的等級。嚴格的來講，潔凈室不僅僅是控制空氣中的微小顆粒，他要控制的是整個車間（潔凈室）里面的微粒子，灰塵，細菌和微生物等等，除了要控制這些，潔凈室一般還得控制溫濕度等其他參數(shù)。

潔凈室在我們生產(chǎn)企業(yè)里面是使用的比較普遍的，比如電子類產(chǎn)品一些工序?qū)諝庵械奈⑿☆w粒是有要求的，需要達到一定的級別，其中SMT貼片室就最為典型。凈化車間一般包含機器設(shè)備區(qū)(包含凈化機組用地、電氣設(shè)備用地、工業(yè)純水和高純度氣用地、熱冷機器設(shè)備用地等)、管理區(qū)(包含辦公室、值勤、管理室和休息區(qū)等)、潔凈輔助間(包含工作人員凈化用室、原材料凈化用室和一部分日常生活凈化用室等)、廠區(qū)。后三類用地全是為潔凈廠區(qū)服務(wù)項目的設(shè)備。

CW一RPC系列遠程激光塵埃粒子計數(shù)器是賽納威研發(fā)的智能多點監(jiān)控系統(tǒng)的終端設(shè)備，可以通過RJ45網(wǎng)絡(luò)接口、WiFi、485 (moudbus）等，將數(shù)據(jù)傳輸給PC終端，為用戶提供實時準確的車間微粒數(shù)量和凈化等級。該粒子計數(shù)器按照國際標準IS014644-1，GMP和日本工業(yè)標準(JIS）要求標定，其計數(shù)效率和準確性滿足JJF1190-2008《塵埃粒子計數(shù)器》校準依據(jù)，專業(yè)應(yīng)用于電子行業(yè)、制藥車間、食品、藥品車間、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密機械加工車間等潔凈環(huán)境；用戶可根據(jù)需要增加或減少控制終端，可實現(xiàn)7*24實時遠程自動監(jiān)測，有助于企業(yè)提升自動化、精細化管理。

粒子計數(shù)器設(shè)備分落散布在車間各監(jiān)控點位，由安裝了系統(tǒng)監(jiān)控軟件的主控電腦控制各采集點的工作狀態(tài)；監(jiān)控軟件可選擇設(shè)定測試粒徑、測試時間、采樣間隔、刷新頻率、顯示單位、采樣模式和超限報警等，并可對測試歷史數(shù)據(jù)按需求進行查詢、統(tǒng)計、分析及繪制曲線圖，并可提供moudbus485通訊協(xié)議對接用戶物聯(lián)網(wǎng)平臺，供用戶自行開發(fā)和應(yīng)用。